【導讀】MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀，就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種，主要作用是在GPS沒有信號時，通過陀螺儀的作用仍然能夠繼續精確導航。
MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀，就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種，主要作用是在GPS沒有信號時，通過陀螺儀的作用仍然能夠繼續精確導航。
MEMS陀螺儀即硅微機電陀螺儀，絕大多數的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動和轉動引起的交變科里奧利力。MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）是指集機械元素、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統。
mems陀螺儀的特點：
MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理，將旋轉物體的角速度轉換成與角速度成正比的直流電壓信號，其核心部件通過摻雜技術、光刻技術、腐蝕技術、LIGA技術、封裝技術等批量生產的，它主要特點是
1. 體積小、重量輕，其邊長都小于 1mm，器件核心的重量僅為1.2mg。
2. 成本低
3. 可靠性好，工作壽命超過 10 萬小時，能承受1000g 的沖擊。
4. 測量范圍大
MEMS是否取代光纖陀螺儀技術
光纖陀螺是繼激光陀螺巨大的進步，屬于兩光陀螺，利用Sagnac效應，用光程差反算角速度，相比激光陀螺，體積小，成本低，精度可達千分之一，而且沒有活動部件，可靠性高，獲得了廣泛的應用。目前國內主要是北航和浙大兩大派系，從業者約30多家，技術已經開放，大多數精度也就十分之一的樣子，產業鏈已經向中西部轉移，民工都可以干。但相比MEMS還是非常的貴，而且近千米的光纖繞成一坨，溫度系數、可靠性、抗沖擊、長儲都有問題，而且MEMS目前的精度已經是10和開環光纖相當，并且已經向1進發，所以在一些低端和短時應用非常考驗光纖從業者的粗大神經，而且MEMS小體積重量，低成本，芯片批量化，高可靠性等優勢非常明顯，但MEMS的精度10年內進入0.1有點困難，因此，在0.1到千分之一都可以是光纖的天下，短時間取代不了的。
光纖陀螺儀的工作原理
光纖陀螺儀的實現主要基于塞格尼克理論：當光束在一個環形的通道中前進時，如果環形通道本身具有一個轉動速度，那么光線沿著通道轉動的方向前進所需要的時間要比沿著這個通道轉動相反的方向前進所需要的時間要多。也就是說當光學環路轉動時，在不同的前進方向上，光學環路的光程相對于環路在靜止時的光程都會產生變化。利用光程的變化，檢測出兩條光路的相位差或干涉條紋的變化，就可以測出光路旋轉角速度，這便是光纖陀螺儀的工作原理。
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