產品特性：
- 配備多個非接觸溫度傳感器
- 感度高、測量溫度范圍廣
應用范圍：
- 醫療器械
歐姆龍近日展出了兩款MEMS傳感器。一款是MEMS流量傳感器，已經投入量產。該傳感器在醫療器械中，用于濃縮氧裝置。另一款是正在開發的MEMS溫度傳感器。
此次的傳感器由以下部件組成：（1）將遠紅外線聚光至傳感器芯片上的硅透鏡；（2）配備多個非接觸溫度傳感器——熱電堆元件的MEMS元件；（3）將傳感器的輸出換算為溫度的MCU。傳感器包括排列8個熱電堆元件的產品以及將該元件以4×4排列的產品。
通過安裝多個熱電堆元件，可利用非接觸方式同時測量多個區域的溫度。雖然還取決于MCU配備的軟件，不過基本能測量5～6m遠處的溫度。與焦電傳感器不同，還可測量靜止狀態的測量對象。因此，可以一次性檢查多人病房中的患者是否全在病房。
測量溫度范圍為0～50℃。噪聲等效溫度差（NETD）為0.2℃。視角為8度/元件。與該公司以前開發的MEMS溫度傳感器相比，感度提高了50％。利用MCU換算的溫度可經由I2C接口輸出到外部。
