- 國產MEMS壓力傳感器正在進入高端應用市場
- 汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子對MEMS傳感器需求大
在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、土木工程學、巖土力學、創傷醫學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態壓力波形與幅值、有效值，要求所用壓力傳感器具有較高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優良的響應頻帶，以保證足夠的動態測壓精度。
隨著測量技術的飛速發展，對傳感器提出了更高的要求，尤其在高精度的流體動力學測試中，要求傳感器具有良好的動態特性。為了不影響流場狀態，提高測量的精度，還需壓力傳感器具有極小和極薄的外形，一般來講，外徑約為2 mm～8mm，或厚度2 mm～5mm，傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來，壓力傳感器行業明顯加快了壓阻式替代淘汰應變式、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐，MEMS技術逐步成為產業化技術主流。
受自身技術條件限制， 國內大多數壓力傳感器企業多把國內外產硅MEMS OEM產品作為壓力傳感器的關鍵部件，組裝后再行銷售，進入行業的門檻較低，資金運轉快。但對有高難度要求的高檔傳感器，企業既買不到相應的硅MEMS OEM產品，又不具備相應設計與特殊制作技術，因此基本無法進入這一細分市場。昆山雙橋傳感器測控技術有限公司充分利用其技術積累，從核心元件關鍵技術做起，基于MEMS微機械加工技術，自行研制的微型動態壓阻壓力傳感器能確保力敏硅膜片有效尺寸更小，固有頻率更高；此外，利用硅優良的彈性力學特性，尤其是極高的楊氏彈性模量，加之低的電橋內阻抗，不僅利于獲得高頻響，而且有低至亞微秒的上升時間及非常干凈的幅頻特性曲線，可廣泛應用于要求傳感器尺寸小、對測試流場影響小、動態特性好的空氣動力學研究、風洞測控試驗等高端應用領域。微型壓力傳感器產品在雙橋傳感器公司已形成系列化，主要產品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm，涵蓋了對水、氣、油等多種介質的測量。產品完全為公司自主設計和開發，具有獨立的自主知識產權，表明國內企業在開發高、特、難、新壓力傳感器方面已經具有很強的技術實力。
汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展，對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術的創新不斷涌現，MEMS傳感器的市場機會逐步顯現。此前昆山雙橋傳感器測控技術有限公司的基于MEMS技術的汽車壓力傳感器早已批量應用于汽車電子產業。另據該公司透露，未來的2年～3年，通用壓力傳感器的智能化生產技術將成為產業的熱點和焦點，為此，他們著重針對汽車壓力傳感器和特種傳感器市場，制定了相應的產業化發展策略，為客戶專制開發，在商業模式上采取藍海戰略，以高技術保證公司在細分市場上的成功。從昆山雙橋的行動上可以看出，國產MEMS壓力傳感器產品正在向汽車電子及一些高端應用等市場滲透。
